We report about numerical and experimental investigations of the thermal gradients in the INRIM's combined X-ray and optical interferometer used to measure the lattice parameter of silicon.
Thermal Gradients in the Si Lattice Parameter Measurement / Mana, Giovanni; Massa, Enrico; Sasso, Carlo Paolo. - (2018), pp. 1-2. (Intervento presentato al convegno 2018 Conference on Precision Electromagnetic Measurements (CPEM 2018) tenutosi a Paris (France) nel 8-13 July 2018) [10.1109/CPEM.2018.8500839].
Thermal Gradients in the Si Lattice Parameter Measurement
Mana, Giovanni
;Massa, Enrico;Sasso, Carlo Paolo
2018
Abstract
We report about numerical and experimental investigations of the thermal gradients in the INRIM's combined X-ray and optical interferometer used to measure the lattice parameter of silicon.File in questo prodotto:
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