A portable picometer reference actuator with 100 µm range, picometer resolution, subnanometer accuracy and submicroradian tip-tilt error for the characterization of measuring instruments at the nanoscale / Pisani, Marco; Giugni, Andrea. - In: METROLOGIA. - ISSN 0026-1394. - 55:4(2018), pp. 541-557. [10.1088/1681-7575/aaca6f]

A portable picometer reference actuator with 100 µm range, picometer resolution, subnanometer accuracy and submicroradian tip-tilt error for the characterization of measuring instruments at the nanoscale

Pisani, Marco
;
2018

File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
Pisani_2018_Metrologia_55_541.pdf

accesso aperto

Tipologia: final published article (publisher’s version)
Licenza: Creative Commons
Dimensione 4.27 MB
Formato Adobe PDF
4.27 MB Adobe PDF Visualizza/Apri

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11696/59674
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 10
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 8
social impact