Sub-micrometer Resolution Position Sensor for Use in the Active Equipment for Vibration Isolation / Bisi, Marco. - (2001), pp. 334-337. (Intervento presentato al convegno 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE OF THE EUROPEAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY tenutosi a TORINO nel MAY 27-31, 2001).
Sub-micrometer Resolution Position Sensor for Use in the Active Equipment for Vibration Isolation
BISI, MARCO
2001
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