Submicrometer functionalization of porous silicon by electron beam lithography / Rocchia, M; Borini, S; Rossi, A. M; Boarino, L; Amato, Giampiero. - In: ADVANCED MATERIALS. - ISSN 0935-9648. - 15:(2003), pp. 1465-1469. [10.1002/adma.200304919]
Submicrometer functionalization of porous silicon by electron beam lithography
ROSSI, A. M;BOARINO, L;AMATO, GIAMPIERO;
2003
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