High-Quality Hydrogenated Amorphous-Silicon Carbon Layers as Obtained by a Particular Photochemical Vapor-Deposition Method / Manfredotti, C; Fizzotti, F; Osenga, C; Amato, Giampiero; G, Boarino. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. A, APPLIED RESEARCH. - ISSN 0031-8965. - 135:(1993), pp. 191-198.
High-Quality Hydrogenated Amorphous-Silicon Carbon Layers as Obtained by a Particular Photochemical Vapor-Deposition Method
AMATO, GIAMPIERO;
1993
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