Preliminary characterisation of electrical and mechanical quantities on a MEMS-SPM device / Ribotta, Luigi; Giura, Andrea; Ceveriati, Marcello; Zaro, Federico; Bozorkulov, Dustmamat; Pisani, Marco. - (2025), pp. -71.

Preliminary characterisation of electrical and mechanical quantities on a MEMS-SPM device

Luigi Ribotta
;
Andrea Giura;Marco Pisani
2025

2025
TR 28-2025
none
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