Preliminary characterisation of electrical and mechanical quantities on a MEMS-SPM device / Ribotta, Luigi; Giura, Andrea; Ceveriati, Marcello; Zaro, Federico; Bozorkulov, Dustmamat; Pisani, Marco. - (2025), pp. -71.
Preliminary characterisation of electrical and mechanical quantities on a MEMS-SPM device
Luigi Ribotta
;Andrea Giura;Marco Pisani
2025
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